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メタル電離真空計
• 広帯域測定が可能
– 9.9Pa~5×10-8Paの8桁半にわたる幅広い測定が可能
• メタル管球とガラス管球の2タイプを用意
– 用途に応じた測定子の選定が可能(他にヌードタイプも可能)
• メタル管球(金属)のため頑強
– 測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を防止
• 感度設定が可能
– 気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測定が可能
• レンジホールド機能搭載
– 測定レンジを固定して使用される場合に最適
• 制御出力信号
– セットポイント2点の出力可能
• 全機能フロントパネルで操作可能
– フィラメント1/2切り替え、感度設定、レンジホールド設定、DEGAS設定など
• スパッタリング装置
• 蒸着装置(ターボ分子ポンプ)
• その他超高真空・高真空装置など
• シリアル通信仕上様
– RS232C通信が標準装備
• デジタル出力
– BCD出力が標準装備
• 測定値出力信号
– 圧力は0~10V出力(疑似Log出力)