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ピラニ真空計
• デジタル出力(BCD)を標準装備(GP-1000G)
• CE対応(GP-1000G)
• 真空粗引き系の圧力測定
• 各種真空排気系の圧力モニタ
• 真空応用機器のプロセス制御
• 測定圧力範囲: 4.0×10-1~2.7×103Pa
• 測定精度: ±15%(5.1×101 to 7.6×102Pa) / ±30%(1.0×101 to 1.0×103Pa) / ±50%(4.0×10-1 to 2.7×103Pa)
• 圧力表示: LCD
• デジタル出力: BCD
• 通信形式: RS-232C
• アナログ出力:
– DC0~10V リニア出力(103/102Pa f.s.)
– 擬似LOG出力 (各レンジ1V)
• 使用温度範囲: 10~40℃
• 電源: AC100V~240V